描述
機(jī)型 | YSi-SP |
對象基板尺寸 | L510mm X W460mm ~ L50mm X W50MM (單軌機(jī)型) *軌機(jī)型 |
水平分辨率(FOV尺寸) | 1)25µm / 12.5µm (約50X50mm) 2)20µm / 10µm (約40X40mm) 3)15µm / 7.5µm (約30X30mm) *均為標(biāo)準(zhǔn)選擇式 |
高度分辨率 | 1µm |
檢查項(xiàng)目 | 錫膏印刷狀態(tài)(體積、高度、面積、位置偏移) |
電源規(guī)格 | 單相 AC200/208/220/230/240v ±10% |
供給氣源 | 無需空氣 |
外形尺寸(突起部除外) | L904 X W1080 X H1478mm |
主體重量 | 約550kg |
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