主要技術(shù)規(guī)范

1、真空室內(nèi)腔尺寸：寬×高×深：1950×1050×750（mm）

2、極限真空：1.3×10^-4Pa(空載時(shí))

3、抽氣時(shí)間：從大氣到9.7×10^-4Pa≤50min

4、升壓率：≤5Pa/h。

5、真空測(cè)量：雙熱偶電離復(fù)合真空計(jì)1臺(tái)，熱偶規(guī)2支，大氣壓-1Pa；

電離規(guī)2支，10Pa-10^-5Pa。

6、可鍍卷材：zui大幅寬：150mm，zui大卷徑：φ=400mm

7、卷繞速度：0.1-10mm/min

8、加熱器：

加熱器高功率：IGBT電源，35KW（可根據(jù)用戶要求配置）

數(shù)量：2個(gè)

加熱區(qū)域：控溫精度1℃，溫度均勻性3℃

9、氣氛控制：3臺(tái)D07—7B/ZM型氣體質(zhì)量流量計(jì)，

10、真空系統(tǒng)：由脂潤(rùn)滑分子泵，前級(jí)機(jī)械泵，羅茨泵，電磁氣動(dòng)真

空閥門(mén)，真空管道組成。

11、冷卻水：循環(huán)冷卻水機(jī)。

去離子水電導(dǎo)率：小于50μ S /cm

壓力:0.1～0.25MPa,  流量：約10T/h，水溫＜25℃

16、總功率：三相四線，380V，50HZ，80KV。

17、電氣控制系統(tǒng)一套，主要元器件均為施耐德品牌。

18、總控系統(tǒng)：PLC控制，互鎖設(shè)定，觸摸屏顯示（可根據(jù)要求定制）。