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射頻離子/原子源(可轉(zhuǎn)換)射頻離子源:用于離子束沉積,離子束輔助沉積,MEMS射頻原子源:用于合成氧化物,氮化物,氫原子清洗
X射線光源(可用于X射線電子能譜)? 雙陽極X射線光源? 多種陽極材料? 具有差分抽氣或者從安裝口抽氣? 70mm O.D. CF安裝法蘭
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