帶滑動(dòng)法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加熱至1200℃，并通過(guò)調(diào)整三個(gè)溫區(qū)而建立不同梯度的熱場(chǎng)，可進(jìn)行退火、擴(kuò)散、在不同氣氛中燒結(jié)樣品及CVD等實(shí)驗(yàn)。
| 功能特點(diǎn) |
|---|
- 雙層殼體，配有冷系統(tǒng)，爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料。
- 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高反射率和保護(hù)爐膛潔凈度。
- 一端法蘭配有滑軌，便于樣品裝卸；另一端法蘭裝有數(shù)字真空計(jì)。
- 采用三個(gè)獨(dú)立PID控制器 ，可以設(shè)置30段升降溫程序，設(shè)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。
- 已通過(guò)CE認(rèn)證。
| 技術(shù)參數(shù) | |
|---|---|
| 安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 |
| 水 | 不需要 |
| 電 | AC220V 50Hz，必須有良好接地 |
| 氣 | 設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源 |
| 工作臺(tái) | 尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上 |
| 通風(fēng)裝置 | 需要 |
| 電源 | 單相AC 208-240V 50/60Hz 7KW （40A保險(xiǎn)絲） |
| 石英管 | 外徑?125mm，內(nèi)徑120mm，長(zhǎng)1400mm，帶有一對(duì)真空密封法蘭 |
| 加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲 |
| 加熱區(qū)域 | 溫區(qū)I長(zhǎng)229mm，溫區(qū)II長(zhǎng)457mm，溫區(qū)III長(zhǎng)229mm，總長(zhǎng)915mm |
| 恒溫區(qū)域 | 三個(gè)溫區(qū)為同一溫度時(shí)為625mm，溫區(qū)II為110mm |
| 工作溫度 | 1200℃，連續(xù)工作1100℃ |
| 升降溫速率 | 20℃/min |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 熱電偶 | K型 |
| 浮子流量計(jì) | 3個(gè)，量程0-100ml/min、0-160ml/min、0-250ml/min |
| 數(shù)字真空計(jì) | 10-4torr |
| 管式爐尺寸 | 1080mm×430mm×600mm |
| 重量 | 70kg |
暫無(wú)內(nèi)容
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