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半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)機(jī)器人行業(yè)市場(chǎng)供需情況與大環(huán)境、行業(yè)整體規(guī)模、地區(qū)發(fā)展水平及生產(chǎn)能力、政策因素、產(chǎn)品價(jià)格、不同地區(qū)消費(fèi)者收入水平、消費(fèi)者偏好、相關(guān)替代商品等因素相關(guān)，報(bào)告對(duì)此進(jìn)行一一說(shuō)明。報(bào)告對(duì)半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)機(jī)器人行業(yè)的分析是在基于大量數(shù)據(jù)及資料與專家分析的基礎(chǔ)上完成的，能夠?yàn)闃I(yè)內(nèi)企業(yè)提供行業(yè)的準(zhǔn)確發(fā)展方向，以把握市場(chǎng)機(jī)遇，明確發(fā)展戰(zhàn)略。

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分產(chǎn)品來(lái)看，半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)機(jī)器人市場(chǎng)包括服務(wù), 硬件, 軟件。其中在2022年市場(chǎng)規(guī)模達(dá) 億元，預(yù)計(jì)在預(yù)測(cè)期間CAGR將達(dá) %。從下游應(yīng)用方面來(lái)看，中國(guó)半導(dǎo)體機(jī)器人市場(chǎng)下游可劃分為密封和分配, 材料搬運(yùn), 機(jī)器保養(yǎng), 檢驗(yàn)和測(cè)試, 裝配線, 焊接等。其中，行業(yè)2022年占比為 %，處于地位。

在半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)機(jī)器人行業(yè)里，芯片的生產(chǎn)制造和晶圓檢測(cè)制程中經(jīng)常要用到回轉(zhuǎn)式的機(jī)器臂即晶圓搬運(yùn)機(jī)器人來(lái)實(shí)現(xiàn)晶圓的取放操作。在取放晶圓的過(guò)程中，機(jī)器臂末端的執(zhí)行機(jī)構(gòu)面要與晶圓表面保持良好的水平度，如果發(fā)生了傾斜偏移很容易造成晶圓掉落等異常事故。在調(diào)節(jié)核對(duì)末端夾持面的水平度的過(guò)程中，一般是通過(guò)在末端面放置水平儀的方式來(lái)核對(duì)水平度。晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的垂直臂軸和水平軸是設(shè)計(jì)成垂直90度方式連接，所以在實(shí)際應(yīng)用過(guò)程中，要保證水平面的水平，必須先調(diào)整垂直臂軸的垂直度，同時(shí)對(duì)各個(gè)軸做必要的水平檢測(cè)。但現(xiàn)有技術(shù)中，對(duì)晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的檢測(cè)都集中在對(duì)水平臂的檢測(cè)，晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的主體垂直臂的穩(wěn)定性能則被疏忽掉了。主體垂直臂軸作為整個(gè)機(jī)器臂的基座軸，它的穩(wěn)定運(yùn)行是整個(gè)機(jī)器臂穩(wěn)定運(yùn)行的基礎(chǔ)，只有保證了它的垂直度及穩(wěn)定性，才能保證末端面的水平度穩(wěn)定。