產(chǎn)品型號(hào)

大口徑管式真空氣氛爐GSL-1100X

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺(tái)：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、石英管外徑為6″、8″、8.5″、11″

2、采用PID控制器，可以設(shè)置51段控溫程序。

3、控溫精度高，保溫效果好，溫度范圍大，爐膛溫度均勻性高，可通氣氛抽真空。

4、安全可靠，操作簡(jiǎn)單。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：AC 380V  50/60Hz   5KW

2、石英管：Ø152mm×1000mm，Ø203mm×1000mm，Ø216mm×1000mm，Ø280mm×1000mm

3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁

4、加熱區(qū)域：900mm

5、溫區(qū)：3個(gè)，各300mm長(zhǎng)

6、溫度;1100℃

7、工作溫度：1000℃

8、升溫速率：20℃/min

9、推薦升溫速率：10℃/min

10、控溫精度：±1℃

11、控溫段數(shù)：51段

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：1300mm×650mm×1050mm；重量：150kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

石英管

1根

2

管堵

4個(gè)

3

坩堝鉗

1把

4

熱電偶

1根

5

真空法蘭

1套

6

高溫手套

1雙

可選配件

1、石英管

2、氧化鋁坩堝

3、石英坩堝

4、真空泵