| 清潔速度： | 1.Stepper motor t stage 2.提供可程式化之操作介面及控制系統(tǒng) |
|---|---|
| 風刀角度： | 可手動調(diào)整高度&角度 |
| 風量壓力控制： | 電子式氣壓控制 |
| 全管線由無塵等級管線打造： | 提供高潔凈度配管（管徑6mm） |
| 安全防護機制： | 機臺具備外罩，并有開啟檢知，減少操作人員危險 |
| 落地型設計： | 落地型設計，并具備三色燈警示 |
| 抗靜電壓克力外罩： | 防火外罩全面配置抗靜電壓克力，減少靜電產(chǎn)生之粒子吸附 |
| 排風設計： | 4-6排風孔 |
| ULPA air filter： | Class 1 |
| Stage/Mask感應SENSOR： | SENSOR感應Stage/MASK位置啟動開關(guān)噴風動作 |
| 控制系統(tǒng)： | PLC+UI 可控制移動行程于吹風次數(shù) 可設Recipe 可控制開蓋傳送 |
| 配備項目： | 壓縮空氣濾清器 超音波震蕩器 除靜電離子風 X-ray除靜電系統(tǒng) |
奈米級光罩除塵設備，適用無塵室。
所有評論僅代表網(wǎng)友意見，與本站立場無關(guān)。